Cette méthode consiste à mettre la pièce sous vide en relation avec un détecteur d’hélium (spectromètre de masse). On asperge ensuite de l’hélium sur les zones à contrôlées (contrôle partiel), ou en mettant sous ambiance d’hélium la totalité de la pièce à l’aide d’une poche plastique (contrôle global).
En cas de fuite, l’hélium est récupéré par le volume de l’équipement mis sous vide, puis signalé et quantifié par le détecteur. L’étalonnage est réalisé à l’aide d’une fuite de référence. La localisation de la fuite se fait à l’aide d’un jet d’hélium sur les différents éléments de l’équipement (joints, soudures,...).